可靠的純水質量

• 深度純化后的超純水雜質含量極低，雜質水平低至ppt或亞ppt級別^[1]。

• [1].參見“檢測數據表”查看離子水平。

嚴苛的工藝標準

• 核心部件以及配套管線均采用符合SEMI F57要求的低溶出材料，有效降低新雜質引入，滿足集成電路先進制程的質量要求

科學的控制方案

• 通過無線腳踏開關取水，避免雙手觸碰，降低人為因素的污染風險。

簡潔的操控系統

• 1.54英尺的彩色顯示器，實時監測取水電阻率、TOC、水溫、流速、單次和累積取水量等信息。

便捷的取水方式

• 腳踏開關取水，解放雙手。

• 板按鍵取水，常規、定量、即時3種取水模式選擇，適應不同取水需求。

高效的集成設計

• 高度集成的緊湊結構，適用于安裝在面積不大的潔凈間或層流罩中。

• 卡緊機構，使濾芯的維護更換更加輕松高效。

可追溯的數據管理

• 與XUE-10/20UV或PU-UV系列聯合使用，存儲5年的運行數據，包含取水水質、取水量及用戶信息等數據，滿足審計追蹤需求，符合監管法規要求。

• 具有USB端口和云平臺雙重數據保護功能。